GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
GB/T 38447-2020
国家标准推荐性标准GB/T 38447-2020标准状态
- 发布于:2020-03-06
- 实施于:2020-07-01
- 废止
内容简介
国家标准《微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
起草单位
北京大学、北京智芯传感科技有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、北京必创科技股份有限公司、中机生产力促进中心、沈阳国仪检测技术有限公司、中北大学、
起草人
张威、 张亚婷、 朱悦、 石云波、 周浩楠、 陈得民、 于振毅、陆学贵、李海斌、程逸轩、
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