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GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷

GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷

Gas for electronic industry—Germane

GB/T 31987-2015

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标准GB/T 31987-2015标准状态

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  • 标准名称：电子工业用气体 锗烷
  • 标准号：GB/T 31987-2015
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2015-09-11
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：2016-05-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体 锗烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。分子式:GeH4。相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。

起草单位

上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院、佛山市华特气体有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、

起草人

方华、 裴友宏、 陈熔、 周鹏云、 郭秀丽、林宇巍、

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