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GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢

GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢

Gases for electronic industry - Arsine

GB/T 26250-2010

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标准GB/T 26250-2010标准状态

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  • 标准名称：电子工业用气体 砷化氢
  • 标准号：GB/T 26250-2010
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2011-01-14
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：2011-05-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体 砷化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了砷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。分子式：AsH3。相对分子质量：77．945 42(按2007年国际相对原子质量计算)。

起草单位

西南化工研究设计院、光明化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、

起草人

孙福楠、 方华、 周鹏云、庄鸿涛、

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