GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢_标准下载

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GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢

Hydrogen for electronic industry

GB/T 16942-2009

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标准GB/T 16942-2009标准状态

发布于：2009-10-30
实施于：2010-05-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体氢
标准号：GB/T 16942-2009
中国标准分类号：G86
发布日期：2009-10-30
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：2010-05-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：代替GB/T 16942-1997
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。

起草单位

中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、

起草人

周泽义、周鹏云、

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