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GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨

GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨

Gas for electronic industry - Ammonia

GB/T 14601-2009

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标准GB/T 14601-2009标准状态

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标准详情

  • 标准名称：电子工业用气体 氨
  • 标准号：GB/T 14601-2009
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2009-10-30
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：2010-05-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 14601-1993
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体 氨》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 u3000u3000本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。

起草单位

大连光明化工研究院、武汉市鼎立化工有限责任公司、中国西南油气田成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院、

起草人

孙福楠、 刘泽军、 周鹏云、 付永成、谢国清、

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