GB/T 14603-2009 电子工业用气体三氟化硼_标准下载

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GB/T 14603-2009 电子工业用气体三氟化硼

Gases for electronic industry - Boron trifluoride

GB/T 14603-2009

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标准GB/T 14603-2009标准状态

发布于：2009-10-30
实施于：2010-05-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体三氟化硼
标准号：GB/T 14603-2009
中国标准分类号：G86
发布日期：2009-10-30
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：2010-05-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：代替GB/T 14603-1993
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体三氟化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 u3000u3000本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。

起草单位

核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院、

起草人

邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云、

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