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GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮

GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮

Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride

GB/T 21287-2007

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标准GB/T 21287-2007标准状态

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  • 标准名称：电子工业用气体 三氟化氮
  • 标准号：GB/T 21287-2007
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2007-12-14
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：2008-07-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：被GB/T 21287-2021代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体 三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。分子式：NF。分子量：71.001 9（按2001年国际相对原子量）

起草单位

核工业理化工程研究院特气中心、黎明化工研究院、西南化工研究设计院、中核红华特种气体股份有限公司、国家标准物质研究中心、

起草人

王少楠、 余启富、 宋再卿、刘新明、

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