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GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法

GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法

Test method for lattice constant of III-nitride epitaxial layers

GB/T 30654-2014

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标准GB/T 30654-2014标准状态

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  • 标准名称：Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
  • 标准号：GB/T 30654-2014
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：2014-12-31
    国际标准分类号：77.040.20
  • 实施日期：2015-09-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：冶金金属材料试验金属材料无损检测

内容简介

国家标准《Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了利用高分辨X射线衍射测试族氮化物外延片晶格常数的方法。本标准适用于在氧化物衬底（A120、ZnO等）或半导体衬底（GaN、Si、GaAs、SiC等）上外延生长的氮化物（Ga，In，A1）N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考本标准。

起草单位

中国科学院半导体研究所、

起草人

孙宝娟、 赵丽霞、 李晋闽、 王军喜、曾一平、

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