GB/T 1553-2009 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法
GB/T 1553-2009
国家标准推荐性标准GB/T 1553-2009标准状态
- 发布于:2009-10-30
- 实施于:2010-06-01
- 废止
内容简介
国家标准《硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u30001.1 本标准规定了硅和锗单晶体内少数载流子寿命的测量方法。本标准适用于非本征硅和锗单晶体内载流子复合过程中非平衡少数载流子寿命的测量。
起草单位
峨嵋半导体材料厂、
起草人
江莉、 杨旭、
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