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GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片

GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片

Polished monocrystalline silicon carbide wafers

GB/T 30656-2014

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标准GB/T 30656-2014标准状态

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标准详情

  • 标准名称：碳化硅单晶抛光片
  • 标准号：GB/T 30656-2014
    中国标准分类号：H83
  • 发布日期：2014-12-31
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2015-09-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：被GB/T 30656-2023代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《碳化硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单（或合同）内容。 本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。

起草单位

北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所、

起草人

陈小龙、 郑红军、 刘春俊、 刘振洲、 张玮、郭钰、

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