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GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法

GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法

Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching

GB/T 30868-2014

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标准GB/T 30868-2014标准状态

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  • 标准名称：碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
  • 标准号：GB/T 30868-2014
    中国标准分类号：H83
  • 发布日期：2014-07-24
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2015-02-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院、

起草人

丁丽、 周智慧、 郝建民、蔺娴、

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