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GB/T 14264-2009 半导体材料术语

GB/T 14264-2009 半导体材料术语

Semiconductor materials-terms and definitions

GB/T 14264-2009

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标准GB/T 14264-2009标准状态

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  • 标准名称：半导体材料术语
  • 标准号：GB/T 14264-2009
    中国标准分类号：H80
  • 发布日期：2009-10-30
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2010-06-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 14264-1993
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《半导体材料术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。 u3000u3000本标准适用于元素和化合物半导体材料。

起草单位

中国有色金属工业标准计量质量研究所、杭州海纳半导体有限公司、有研半导体材料股份有限公司、国瑞电子材料有限责任公司等、

起草人

孙燕、 黄笑容、 卢立延、 郑琪、 向磊、翟富义、

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