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GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

GB/T 1554-2009

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标准GB/T 1554-2009标准状态

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标准详情

  • 标准名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
  • 标准号：GB/T 1554-2009
    中国标准分类号：H80
  • 发布日期：2009-10-30
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2010-06-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 1554-1995
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。

起草单位

峨嵋半导体材料厂、

起草人

何兰英、 王炎、 张辉坚、刘阳、

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