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GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere

GB/T 4059-2018

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标准GB/T 4059-2018标准状态

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  • 标准名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法
  • 标准号：GB/T 4059-2018
    中国标准分类号：H17
  • 发布日期：2018-12-28
    国际标准分类号：77.040
  • 实施日期：2019-11-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 4059-2007
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数）的测定，测定范围为0.01×1013Cm-3~500×1013cm-3。

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、鄂尔多斯多晶硅业有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、山东大海新能源发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、乐山市产品质量监督检验所、

起草人

胡伟、 耿全荣、 柳德发、 薛心禄、 宗凤云、 邱艳梅、 楚东旭、 刘翠、 梁洪、 唐珊珊、 胡自强、鲁文锋、蔡延国、尹东林、刘国霞、高明、王瑞、姚利忠、王佳、

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