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GB/T 14139-2019 硅外延片

GB/T 14139-2019 硅外延片

Silicon epitaxial wafers

GB/T 14139-2019

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标准GB/T 14139-2019标准状态

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  • 标准名称：硅外延片
  • 标准号：GB/T 14139-2019
    中国标准分类号：H82
  • 发布日期：2019-06-04
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2020-05-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 14139-2009
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于在直径不大于150mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。

起草单位

浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有研半导体材料有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院、

起草人

张海英、 李慎重、 胡金枝、 卢立延、 蒋玉龙、骆红、李素青、

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