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GB/T 32996-2016 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

GB/T 32996-2016 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry

GB/T 32996-2016

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标准GB/T 32996-2016标准状态

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  • 标准名称：表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
  • 标准号：GB/T 32996-2016
    中国标准分类号：G04
  • 发布日期：2016-10-13
    国际标准分类号：71.040.40
  • 实施日期：2017-09-01
    技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。本方法适用于测定金属上厚度为1nm~10000nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。

起草单位

上海市计量测试技术研究院、中国科学院化学研究所、华东师范大学、

起草人

徐建、 郝萍、 吴立敏、 陈永康、 张云艳、刘芬、朱丽娜、周莹、

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