GB/T 32999-2016 表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率_标准下载

GB/T 32999-2016 表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率

Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer

GB/T 32999-2016

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标准GB/T 32999-2016标准状态

发布于：2016-10-13
实施于：2017-09-01
废止

标准详情

标准名称：表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率
标准号：GB/T 32999-2016
中国标准分类号：G04
发布日期：2016-10-13
国际标准分类号：71.040.40
实施日期：2017-09-01
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了利用俄歇电子能谱（AES）和X射线光电子能谱（XPS）测定深度剖析离子溅射速率的方法，试样的离子溅射面积范围为0.4mm^2～3.0mm^2。本标准只适用于横向均匀的体相材料或单层材料，其离子溅射速率由溅射深度与溅射时间确定，溅射深度通过机械探针轮廓仪测得。本标准提供了一种将深度剖析中的离子溅射时间转换为溅射深度的方法，并假设溅射速率恒定。本方法不是为扫描探针显微系统设计的，因此不能用扫描探针显微系统评价该方法。本方法不适用于溅射面积小于0.4mm^2的情况，也不适用于溅射诱导的表面粗糙度与被测区域的溅射深度相比较明显的情况。

起草单位

北京师范大学分析测试中心、清华大学分析中心、

起草人

吴正龙、姚文清、

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