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SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语

SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语

SJ/T 10152-1991

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标准SJ/T 10152-1991标准状态

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标准详情

  • 标准名称：集成电路主要工艺设备术语
  • 标准号：SJ/T 10152-1991
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：1991-04-02
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：1991-07-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《集成电路主要工艺设备术语》，主管部门为电子工业部。本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。

起草单位

机械电子工业部第45研究所

起草人

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