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GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances

GB/T 33922-2017

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标准GB/T 33922-2017标准状态

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  • 标准名称：MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
  • 标准号：GB/T 33922-2017
    中国标准分类号：L55
  • 发布日期：2017-07-12
    国际标准分类号：31.200
  • 实施日期：2018-02-01
    技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了MEMS压阻式压力敏感芯片（简称压力敏感芯片）的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验内容和方法。本标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。

起草单位

北京大学、北京必创科技股份有限公司、中北大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、

起草人

张威、 程红兵、 崔波、 石云波、 陈得民、李海斌、朱悦、

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