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GB/T 1557-1989 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

GB/T 1557-1989 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

GB/T 1557-1989

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  • 标准名称：硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
  • 标准号：GB/T 1557-1989
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：1989-03-31
    国际标准分类号：
  • 实施日期：1990-02-01
    技术归口：中国有色金属工业协会
  • 代替标准：被GB/T 1557-2006被GB/T 1557-2006代替
    主管部门：中国有色金属工业协会
  • 标准分类：

内容简介

本标准规定了用红外吸收测定硅晶体中间隙氧含量的方法。本标准适用于室 温电阻率大于0.1Ω·cm的硅晶体中氧含量的测量。测量范围为：氧的浓度从3.5×15at·cm至最大固溶度。
国家标准《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。

起草单位

上海冶金研究所、

起草人

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