GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法_标准下载

GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using si (111) monatomic steps

GB/T 27760-2011

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标准GB/T 27760-2011标准状态

发布于：2011-12-30
实施于：2012-05-01
废止

标准详情

标准名称：利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
标准号：GB/T 27760-2011
中国标准分类号：N04
发布日期：2011-12-30
国际标准分类号：19.020
实施日期：2012-05-01
技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：中国科学院
标准分类：试验试验条件和规程综合

内容简介

国家标准《利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。

起草单位

国家纳米科学中心、

起草人

朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁、

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