GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
GB/T 36705-2018
国家标准推荐性标准GB/T 36705-2018标准状态
- 发布于:2018-09-17
- 实施于:2019-06-01
- 废止
内容简介
国家标准《氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围:1×1017cm-3~1×1020cm-3。
起草单位
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、东莞市中镓半导体科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、有色金属技术经济研究院、中国电子技术标准化研究院、
起草人
郑树楠、 张育民、 王建峰、 徐科、 丁晓民、 陆敏、 石林、邱永鑫、付雪涛、杨素心、杨建、
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