GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范
GB/T 16523-1996
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标准GB/T 16523-1996标准状态
- 发布于:1996-09-09
- 实施于:1997-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《圆形石英玻璃光掩模基板规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC4(全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。 本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。
起草单位
长沙韶光微电子总公司、
起草人
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