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DB44/T 1527-2015 微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法

DB44/T 1527-2015 微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法

DB44/T 1527-2015

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标准DB44/T 1527-2015标准状态

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内容简介

地方标准《微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法》由广东省质量技术监督局归口上报,主管部门为广东省质量技术监督局。本标准适用于扫描电子显微镜(SEM)图像清晰度的评价,涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中,评价方法包括傅里叶变换(FT)法、对比梯度(CG)法及微分(DR)法。

起草单位

广州计量检测技术研究院、金发科技股份有限公司、

起草人

王潇潇、韦争亮、张洁、程庆、王海燕、张鹏、熊磊、汪立文、

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