DB35/T 1146-2011 硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法_标准下载

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DB35/T 1146-2011 硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法

DB35/T 1146-2011

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标准DB35/T 1146-2011标准状态

发布于：2011-04-10
实施于：2011-07-10
废止

标准详情

标准名称：硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法
标准号：DB35/T 1146-2011
中国标准分类号：H80
发布日期：2011-04-10
国际标准分类号：29.045
实施日期：2011-07-10
技术归口：中国科学院福建物质结构研究所
代替标准：
主管部门：福建省质量技术监督局
标准分类：电气工程科学研究和技术服务业福建省半导体材料

内容简介

地方标准《硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法》由中国科学院福建物质结构研究所归口上报，主管部门为福建省质量技术监督局。本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法（GDMS)所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素Li、Be、B、Na、Mg、A1、P、K、Th、U等元素的测定

起草单位

中国科学院福建物质结构研究所、

起草人

黄丰、吕佩文、林璋、黄瑾、陈伦泰、王永好、

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