DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻的无损测试四探针法_标准下载

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DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻的无损测试四探针法

DB32/T 4378-2022

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标准DB32/T 4378-2022标准状态

发布于：2022-10-23
实施于：2022-11-23
废止

标准详情

标准名称：衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻的无损测试四探针法
标准号：DB32/T 4378-2022
中国标准分类号：B61
发布日期：2022-10-23
国际标准分类号：65.020.40
实施日期：2022-11-23
技术归口：
代替标准：
主管部门：江苏省市场监督管理局
标准分类：农业江苏省无损检测

内容简介

地方标准《衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻的无损测试四探针法》，主管部门为江苏省市场监督管理局。本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定，方块电阻测试范围为1×10^-4Ω×10⁴Ω。

起草单位

江苏省特种设备安全监督检验研究院（国家石墨烯产品质量检验检测中心（江苏））、河南煜合科技集团有限公司、江南大学、中国矿业大学、苏州晶格电子有限公司、江苏华永烯科技有限公司、无锡华鑫检测技术有限公司、烯源科技无锡有限公司、

起草人

杨永强、丁海龙、陈武魁、刘禹、王云超、王勤生、屈晓兰、陈辉、区炳显、谢一麟、魏宁、呼志跃、马龙、李璐、秦继恩、

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