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DB13/T 5631-2022 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范

DB13/T 5631-2022 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范

DB13/T 5631-2022

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  • 标准名称：电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范
  • 标准号：DB13/T 5631-2022
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：2022-12-27
    国际标准分类号：81.040.30
  • 实施日期：2023-01-27
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：河北省市场监督管理局
  • 标准分类：玻璃和陶瓷工业制造业河北省电子元器件综合

内容简介

地方标准《电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范》，主管部门为河北省市场监督管理局。本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。

起草单位

起草人

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