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DB13/T 5874-2023 电子工业用氟化氢中杂质的测定 色谱法

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DB13/T 5874-2023

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标准详情

  • 标准名称：电子工业用氟化氢中杂质的测定 色谱法
  • 标准号：DB13/T 5874-2023
    中国标准分类号：L85
  • 发布日期：2023-10-25
    国际标准分类号：17.080
  • 实施日期：2023-11-25
    技术归口：邯郸市市场监督管理局
  • 代替标准：
    主管部门：河北省市场监督管理局
  • 标准分类：计量学和测量、物理现象河北省

内容简介

地方标准《电子工业用氟化氢中杂质的测定 色谱法》，主管部门为河北省市场监督管理局。本文件规定了电子工业用氟化氢中杂质的测定原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。本文件适用于电子工业用氟化氢中氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳的测定。氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量测定的检出限不大于0.01×10-6（体积分数）。

起草单位

中船（邯郸）派瑞特种气体有限公司

起草人

殷越玲、郑秋艳、柳彤、李帅楠、崔雯、刘海芳、袁攀攀

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