GB/T 9506.9-1988 吸气剂装载量测试方法
GB/T 9506.9-1988
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标准GB/T 9506.9-1988标准状态
- 发布于:1988-06-25
- 实施于:1988-12-01
- 废止
内容简介
本标准规定了吸气剂装载量的测试方法,适用于吸气剂装载量的测试。测试条件应符合GB9506.1《吸气剂性能测试方法通则》中的有关规定。
国家标准《吸气剂装载量测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位
电子部741厂、
起草人
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