标准详情
- 标准名称:锑化铟多晶、单晶及切割片
- 标准号:GB/T 11072-1989
- 中国标准分类号:H81
- 发布日期:1989-03-31
- 国际标准分类号:77.140.90
- 实施日期:1990-02-01
- 技术归口:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
- 代替标准:被GB/T 11072-2009代替
- 主管部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:冶金
本标准规定了锑化铟多晶、单晶及单晶切割片的产品分类、技术要求和试验方法等。 本标准适用于区熔法制备的锑化铟多晶及直拉法制备的供制作红外探测器和磁敏元件等用的锑化铟单晶及其切割片。
国家标准《锑化铟多晶、单晶及切割片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
峨嵋半导体材料研究所、
20065636-T-469 锑化铟多晶、单晶及切割片
GB/T 11072-2009 锑化铟多晶、单晶及切割片
硅单晶切割片和研磨片
水平法砷化镓单晶及切割片
20151788-T-469 硅单晶切割片和研磨片
20173767-T-610 水平法砷化镓单晶及切割片
20031803-T-610 水平法砷化镓单晶及切割片
20011278-T-610 硅单晶切割片和研磨片
GB/T 11094-2007 水平法砷化镓单晶及切割片
GB/T 12965-1996 硅单晶切割片和研磨片
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