GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法光学投影法_标准下载

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GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法光学投影法

Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method

GB/T 14140.1-1993

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标准GB/T 14140.1-1993标准状态

发布于：1993-02-06
实施于：1993-10-01
废止

标准详情

标准名称：硅片直径测量方法光学投影法
标准号：GB/T 14140.1-1993
中国标准分类号：H21
发布日期：1993-02-06
国际标准分类号：77.040.01
实施日期：1993-10-01
技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
代替标准：被GB/T 14140-2009代替
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为φ40～φ100mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准用作仲裁测量方法。

起草单位

洛阳单晶硅厂

起草人

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