GB/T 14604-1993 电子工业用气体氧_标准下载

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GB/T 14604-1993 电子工业用气体氧

Gases for electronic industry. Oxygen

GB/T 14604-1993

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标准GB/T 14604-1993标准状态

发布于：1993-08-26
实施于：1994-07-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体氧
标准号：GB/T 14604-1993
中国标准分类号：G86
发布日期：1993-08-26
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：1994-07-01
技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
代替标准：被GB/T 14604-2009代替
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。电子工业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离。也可用于光导纤维。分子式：O2 相对分子质量：31.999（1989年国际相对原子质量表）

起草单位

化工部西南化工研究院

起草人

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