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GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢

GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢

Gas for electronic industry.Phosphine

GB/T 14851-1993

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标准GB/T 14851-1993标准状态

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  • 标准名称：电子工业用气体 磷化氢
  • 标准号：GB/T 14851-1993
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：1993-12-30
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：1994-10-01
    技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准：被GB/T 14851-2009代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

本标准规定了磷化氢产品的技术要求、试验方法、检验规则、安全要求以及包装、标志、运输与贮存。 本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。磷化氢是一种剧毒、可燃、具有腐鱼味的无色气体，在空气中高浓度时能自燃。 分子式：PH3 相对分子质量：33.9975（按1989年国际原子量）

起草单位

化工部光明化工研究所

起草人

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