GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法_标准下载

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GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法

Test method for measuring flexture strength of silicon slices

GB/T 15615-1995

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标准GB/T 15615-1995标准状态

发布于：1995-07-12
实施于：1996-02-01
废止

标准详情

标准名称：硅片抗弯强度测试方法
标准号：GB/T 15615-1995
中国标准分类号：H23
发布日期：1995-07-12
国际标准分类号：77.040.01
实施日期：1996-02-01
技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片（简称硅片）的抗弯强度测试方法。本标准适用于晶向为和的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250～900μm。

起草单位

中南工业大学

起草人

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