GB/T 15909-1995 电子工业用气体硅烷(SiH4)_标准下载

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GB/T 15909-1995 电子工业用气体硅烷(SiH4)

Gas for electronic industry--Silane

GB/T 15909-1995

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标准GB/T 15909-1995标准状态

发布于：1995-12-20
实施于：1996-08-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体硅烷(SiH4)
标准号：GB/T 15909-1995
中国标准分类号：G86
发布日期：1995-12-20
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：1996-08-01
技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
代替标准：被GB/T 15909-2009代替
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。分子式：SiH4 相对分子质量：32.117（按1991年国际相对原子质量）。 101.3kPa下的沸点：-112℃ 20℃和101.3kPa下气体密度：1.342kg/m。 -185℃下液体密度：711kg/m。

起草单位

化工部西南化工研究院

起草人

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