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GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件

GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件

Generic specification of ion beam etching system

GB/T 15861-1995

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标准详情

  • 标准名称：离子束蚀刻机通用技术条件
  • 标准号：GB/T 15861-1995
    中国标准分类号：L97
  • 发布日期：1995-12-22
    国际标准分类号：31.200
  • 实施日期：1996-08-01
    技术归口：工业和信息化部（电子）
  • 代替标准：被GB/T 15861-2012代替
    主管部门：工业和信息化部（电子）
  • 标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《离子束蚀刻机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。
本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。 本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。

起草单位

电子部长沙半导体工艺设备所、

起草人

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