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GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法

GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法

Micron grade lenght measurement by SEM

GB/T 16594-1996

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标准GB/T 16594-1996标准状态

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内容简介

本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量0.5~10μm的长度，也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。

起草单位

上海市测试技术研究所

起草人

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