当前位置：标准网 国家标准

GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦

GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦

Gases for electronic industry--Helium

GB/T 16943-1997

国家标准推荐性现行
收藏 报错

标准GB/T 16943-1997标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：电子工业用气体 氦
  • 标准号：GB/T 16943-1997
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：1997-08-13
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：1998-05-01
    技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准：被GB/T 16943-2009代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

本标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦，在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。 分子式：He 相对分子质量：4.003（按1991年国际相对原子质量）

起草单位

化学工业部西南化工研究院

起草人

相近标准

电子工业用气体 氨
20062405-T-469 电子工业用气体 氢
20062408-T-469 电子工业用气体 氩
20062752-T-469 电子工业用气体 氧
20062407-T-469 电子工业用气体 氮
20132257-T-469 电子工业用气体 硅烷
20062750-T-469 电子工业用气体 氨
20062406-T-469 电子工业用气体 氦
20132256-T-469 电子工业用气体 丙烯
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

点击下载
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」

    ×

    搜索帮助

    本站标准收录规则：

    GB[/T] 空格 00000.00-1111 空格 标准名称

    GB表示标准属性，国家标准；0000.00代表标准顺序号；1111代表标准发布或修订年份。
    搜索关键词中避免使用GB、GBT且要注意冒号、空格等位置。如果你对本站收录规则和所找的标准不是非常明确的话，建议参照以下示例进行搜索。

    搜索建议：

    以标准GB/T 40028.2-2021 智慧城市 智慧医疗 第2部分：移动健康 为例，搜索建议如下：

    ① 搜索关键词：40028.2

    ② 搜索关键词：40028.2-2021

    ③ 搜索关键词：移动健康