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GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢

GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢

Gases for electronic industry--Hydrogen

GB/T 16942-1997

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标准GB/T 16942-1997标准状态

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  • 标准名称：电子工业用气体 氢
  • 标准号：GB/T 16942-1997
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：1997-08-13
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：1998-05-01
    技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准：被GB/T 16942-2009代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。 本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。 分子式：H 相对分子质量：2.016（按1991年国际相对原子质量）

起草单位

化学工业部西南化工研究院

起草人

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