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GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法

GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法

Test method for particles in electronic grade water by instrument

GB/T 11446.9-1997

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标准GB/T 11446.9-1997标准状态

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标准详情

  • 标准名称：电子级水中微粒的仪器测试方法
  • 标准号：GB/T 11446.9-1997
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：1997-09-01
    国际标准分类号：31-030
  • 实施日期：1998-09-01
    技术归口：工业和信息化部（电子）
  • 代替标准：被GB/T 11446.9-2013代替
    主管部门：工业和信息化部（电子）
  • 标准分类：电子学电子技术专用材料

内容简介

国家标准《电子级水中微粒的仪器测试方法》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。
本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定法。 本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径大于或等于0.5μm，微粒的浓度为（0～10 000）个/mL.

起草单位

中国科学院半导体研究所、

起草人

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