GB/T 17874-1999 电子工业用气体三氯化硼_标准下载

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GB/T 17874-1999 电子工业用气体三氯化硼

Gases for electronic industry--Boron trichloride

GB/T 17874-1999

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标准GB/T 17874-1999标准状态

发布于：1999-09-16
实施于：2000-06-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体三氯化硼
标准号：GB/T 17874-1999
中国标准分类号：G86
发布日期：1999-09-16
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：2000-06-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：被GB/T 17874-2010代替
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体三氯化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

起草单位

光明化工研究设计院、

起草人

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