GB/T 18994-2003 电子工业用气体高纯氯_标准下载

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GB/T 18994-2003 电子工业用气体高纯氯

Gases for electronic industry--High purity chlorine

GB/T 18994-2003

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标准GB/T 18994-2003标准状态

发布于：2003-03-05
实施于：2003-08-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体高纯氯
标准号：GB/T 18994-2003
中国标准分类号：G86
发布日期：2003-03-05
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：2003-08-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：被GB/T 18994-2014代替
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体高纯氯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则1,11t乏包装、标志、运输及贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。分子式：Cl2。相对分子质量：70．906(按1999年国际相对原子质量)。 101．3 kPa下的沸点：一34．O5℃。 101．3 kPa下的熔点：一l01．0。C。 101．3 kPa及20℃下气体的密度：2．980 k9／m3。

起草单位

光明化工研究设计院、

起草人

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