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GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法

GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法

Polycrystalline silicon - examination method - vacuum zone - melting on boron

GB/T 4060-2007

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标准GB/T 4060-2007标准状态

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标准详情

  • 标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法
  • 标准号：GB/T 4060-2007
    中国标准分类号：H17
  • 发布日期：2007-09-11
    国际标准分类号：77.040.01
  • 实施日期：2008-02-01
    技术归口：中国有色金属工业协会
  • 代替标准：代替GB/T 4060-1983被GB/T 4060-2018代替
    主管部门：中国有色金属工业协会
  • 标准分类：冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由610（中国有色金属工业协会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。本标准检测杂质浓度有效范围：0．002 X 10-9～100X 10-9。

起草单位

峨眉半导体材料厂、

起草人

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