当前位置：标准网 国家标准

GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮

GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮

Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride

GB/T 21287-2021

国家标准推荐性
收藏 报错

标准GB/T 21287-2021标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：电子特气 三氟化氮
  • 标准号：GB/T 21287-2021
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2021-10-11
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：2022-05-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 21287-2007
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子特气 三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。

起草单位

昊华气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、天津绿菱气体有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、浙江省化工研究院有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、

起草人

王娟、 付梦月、 傅铸红、 陈艳珊、 曹素英、 宋富财、 裴友宏、 韦杰广、 王新喜、 孙猛、 吕博文、 陈洁、 依俊廷、 何波、 宫兵、 王大为、 梁永强、 梁成科、 唐霞梅、 李光辉、 王少波、孟祥军、马建修、何经余、苏子杰、丁高松、史婉君、张建君、鬲春利、张琦炎、吴靓、方华、杨康、黄辉、易达文、李阳、高静、马昌宁、周鹏云、黄超、

相近标准

GB/T 42721-2023 电子特气 一氧化氮
GB/T 40418-2021 电子特气 氟甲烷
20192162-T-469 电子特气 氨
20192161-T-469 电子特气 磷化氢
GB/T 40417-2021 电子特气 六氟丁二烯
GB/T 17874-2021 电子特气 三氯化硼
GB/T 42720-2023 电子特气 六氯乙硅烷
20214641-T-606 三氟氯乙烯
GB/T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷
20091224-T-469 电子气体 四氟甲烷

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」