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GB/T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法

GB/T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法

Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope

GB/T 29190-2012

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标准GB/T 29190-2012标准状态

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内容简介

国家标准《扫描探针显微镜漂移速率测量方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。

起草单位

中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院、

起草人

黄文浩、 陈宇航、 褚家如、 李家文、 李源、傅云霞、

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