GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法
GB/T 14140.2-1993
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标准GB/T 14140.2-1993标准状态
- 发布于：1993-02-06
- 实施于：1993-10-01
- 废止
内容简介
本标准规定了用千分尺测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为φ25～φ100mm。 本标准不适用于测量硅片的不圆度。
起草单位
洛阳单晶硅厂
起草人
王从赞、夏光勤
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