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GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法

GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法

Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Micrometer method

GB/T 14140.2-1993

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标准GB/T 14140.2-1993标准状态

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  • 标准名称：硅片直径测量方法 千分尺法
  • 标准号：GB/T 14140.2-1993
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：1993-02-06
    国际标准分类号：77.040.01
  • 实施日期：1993-10-01
    技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准：被GB/T 14140-2009代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

本标准规定了用千分尺测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为φ25～φ100mm。 本标准不适用于测量硅片的不圆度。

起草单位

洛阳单晶硅厂

起草人

王从赞、夏光勤

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