GB/T 14600-1993 电子工业用气体氧化亚氮_标准下载

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GB/T 14600-1993 电子工业用气体氧化亚氮

Gases for electronic industry. Nitrous oxide

GB/T 14600-1993

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标准GB/T 14600-1993标准状态

发布于：1993-08-26
实施于：1994-07-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体氧化亚氮
标准号：GB/T 14600-1993
中国标准分类号：G86
发布日期：1993-08-26
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：1994-07-01
技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
代替标准：被GB/T 14600-2009代替
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

本标准规定了电子工业用气体--瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、验收规则及包装、标志、贮存与运输要求。本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。分子式：N2O 相对分子质量：44.01（按1989年国际相对原子质量）

起草单位

化工部西南化工研究院

起草人

段淑芳

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