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GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)

GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)

Gas for electronic industry - Silane

GB/T 15909-2009

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标准GB/T 15909-2009标准状态

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标准详情

  • 标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
  • 标准号：GB/T 15909-2009
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2009-10-30
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：2010-05-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 15909-1995被GB/T 15909-2017代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体 硅烷(SiH4)》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。。 u3000u3000本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。

起草单位

浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院、

起草人

余京松、 周鹏云、

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