当前位置：标准网 国家标准

GB/T 8758-1988 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

GB/T 8758-1988 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

GB/T 8758-1988

国家标准推荐性
收藏 报错

标准GB/T 8758-1988标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
  • 标准号：GB/T 8758-1988
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：1988-02-25
    国际标准分类号：77.040.30
  • 实施日期：1989-02-01
    技术归口：中国有色金属工业协会
  • 代替标准：被GB/T 8758-2006代替
    主管部门：中国有色金属工业协会
  • 标准分类：冶金金属材料试验金属材料化学分析

内容简介

本标准适用于砷化镓外延层厚度的测定。可测厚度大于2μm。要求衬底电阻率小于 0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。

起草单位

北京有色金属研究总院

起草人

相近标准

20021942-T-610 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
20021944-T-610 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
GB/T 11068-1989 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
20081146-T-469 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
YS/T 14-1991 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」