GB/T 42106-2022 纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法_标准下载

GB/T 42106-2022 纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法

Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation

GB/T 42106-2022

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标准GB/T 42106-2022标准状态

发布于：2022-12-30
实施于：2023-07-01
废止

标准详情

标准名称：纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法
标准号：GB/T 42106-2022
中国标准分类号：A42
发布日期：2022-12-30
国际标准分类号：07.030
实施日期：2023-07-01
技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：中国科学院
标准分类：数学、自然科学物理学、化学

内容简介

国家标准《纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。

起草单位

中国科学院物理研究所、深圳市标准技术研究院、国家纳米科学中心、

起草人

顾长志、杨海方、王益群、樊阳波、李俊杰、刘前、

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